以简单有效的方式进行模型验证

　　在没有计算机仿真技术的情况下， MEMS 组件的研发难度是难以想象的。FE 仿真模型的测试和改进离不开实验数据之间的比对。欲以最大精度来测量系统的机械性能，非接触式光学测量方法是无法替代的。

　　实践证明，Polytec 激光多普勒测振仪是快速、轻松、以光学方式检测 MEMS 部件内结构机械运动，并将建模行为与测量数据相关联的完美技术。

　　这可以在单个芯片上或晶片级上通过与任何 MEMS 晶片探针台的轻松集成来完成。

　　宽频带的实时测量，加上 Polytec 激光测振仪极高的振幅分辨率，帮助您轻松高效地得出用于模型验证的传递函数。