非接触式测量声表面波(SAW)

　　声表面波(SAW)滤波器是通过表面声波运作的电子器件，实际上是机械滤波器。其性能优越，可集成至高频应用中(如移动电话)。优化 SAW 表面微声学特性是研发 SAW 新部件的关键任务之一。

　　由于频率高、声路径短、振幅小，声表面波的测量和可视化对测量技术要求非常高，激光测振仪是可用于该系统上为数不多的可用解决方案之一。

　　Polytec 激光多普勒测振仪，采用非接触式测量方法，几乎涵盖所有频率，快速输出的振型令人印象深刻，甚至可确定瞬态和弛豫特性。主要结果还可用于确定如滤波特性和性能损失(泄漏)等特性。